ECR C_4F_8プラズマにおけるCFxラジカル絶対密度の空間分布の計測とその分布形成機構 Spatial distribution measurement of absolute CFx radical densities and the formation mechanism of their spatial distribution in ECR C_4F_8 plasma

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収録刊行物

  • レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers  

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 19, 80, 1999-01-01 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002883594
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604265
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09136355
  • データ提供元
    CJP書誌 
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