半導体レーザーの光音響効果を用いた欠陥検出の精度向上に関する研究

• 寺田 英敏

  愛知工業大学

• 津田 紀生

  愛知工業大学

• 山田 諄

  愛知工業大学

書誌事項

タイトル別名

• Study on Improvement of Defect Detection Using Photoacoustic Effect of Semiconductor Laser

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 19 113-, 1999-01-01

詳細情報

• CRID: 1574231873797736832
• NII論文ID: 10002883697
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles