スプレー式エッチングの特性に及ぼす操作条件の影響 Effects of Operational Conditions on Characteristics of Spray Etching

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抄録

現在精密金属部品の製造に利用されているスプレー式エッチングの特性を調べるために, ICリードフレームの材料である42アロイ (42%Ni/Fe合金) を用いて塩化第二鉄水溶液によるスプレー式エッチング試験を行った.基本的な操作条件である塩化第二鉄濃度, スプレー圧力, 液温度を変化させ, エッチング速度及び加工精度の指標であるエッチングファクターに及ぼすこれらの影響を検討した.エッチング速度は塩化第二鉄濃度に対して山型の依存性を示し, また高濃度であるほど平滑面が得られることがわかった.スプレー圧力はエッチングファクターに対して効果が高く, 圧力増加に伴う液打力の効果によってエッチングファクターは向上した.エッチング速度の活性化エネルギーはパターン径が250μm時で29kJ/mo<I>l</I>であった.

To investigate the characteristics of spray etching, which has been used for producing precision metal goods, spray etching tests of 42 Alloy using ferric chloride solution were carried out. By varying fundamental operating factors (ferric chloride concentration, etchant temperature and spraying pressure), we studied their effects on etch rate and etch factor which is an index of accuracy. The etch rate showed a convex curve against ferric chloride concentration. The higher the concentration, the smoother the sample surface. Spraying pressure had a significant effect on etch factor. Higher spraying pressures improved etch factor. The activation energy is 29 kJ/mol when the photo-resist hole diameter is 250 μm.

収録刊行物

  • 化学工学論文集  

    化学工学論文集 24(3), 397-401, 1998-05-10 

    The Society of Chemical Engineers, Japan

参考文献:  4件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002910100
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037234
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    0386216X
  • NDL 記事登録ID
    4492447
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-725
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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