ポジ型レジスト特性に及ぼす溶剤の影響

• 浅海 慎五

• 小原 秀克

• 中山 寿昌

Bibliographic Information

Other Title

• ポジガタ レジスト トクセイ ニ オヨボス ヨウザイ ノ エイキョウ
• 特集号 高分子の微細・精密加工とキャラクタリゼーションー1-
• トクシュウゴウ コウブンシ ノ ビサイ セイミツ カコウ ト キャラクタリゼー

Journal

• 高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology

  高分子論文集 = Japanese journal of polymer science and technology 53 (4), 264-267, 1996-04

  東京 : 高分子学会

Details

• CRID: 1520853832133042048
• NII Article ID: 10003283484
• NII Book ID: AN00085011
• ISSN: 03862186
• NDL BIB ID: 3947648
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3947648
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles