化学増幅系3成分ポジ型レジストのカルボン酸系溶解抑制剤による検討 The Decrease of Dissolution Rate in Unexposed Areas of Chemically Amplified Three-Component Resist by Means of t-Butyl Carboxyl Ester as a Dissolution Inhibitor

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 高分子論文集

    高分子論文集 53(11), 737-744, 1996-11-25

    高分子学会

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

  • <no title>

    THACKERAY J. W.

    Proc. SPIE 1466, 39, 1991

    被引用文献3件

  • <no title>

    ITO H.

    Polym. Eng. Sci. 23, 1012, 1983

    被引用文献15件

  • "Polymers in Electronics"

    ITO H.

    ASC Symp. Series 242, 11, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    NALAMASU O.

    Proc.SPIE 1262, 32, 1990

    被引用文献5件

  • <no title>

    DOSSEL K. F.

    Microelectric Engineering 5, 97, 1986

    被引用文献2件

  • <no title>

    HORIBE H.

    Jpn.J.Appl.Phys. 34, 4247, 1995

    被引用文献5件

  • <no title>

    堀邊英夫

    高分子論文集 53, 57, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    堀邊英夫

    高分子論文集 53, 133, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    堀邊英夫

    電子情報通信学会論文誌 J79-C-II, 12, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUMADA T.

    J.Photopolym.Sci.Technol. 4, 469, 1991

    被引用文献7件

  • <no title>

    堀邊英夫

    電子情報通信学会論文誌 J79-C-II, 422, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITO H.

    J.Polym.Sci.,Part A,Polym.Chem. 24, 2971, 1986

    被引用文献4件

  • <no title>

    堀邊英夫

    高分子論文集 53, 1,57, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    上野巧

    第37回JEOM講演要旨集 41, 1990

    被引用文献3件

  • <no title>

    KUMADA T.

    J.Photopolym.Sci.Technol. 6, 571, 1993

    被引用文献8件

  • <no title>

    FUJINO T.

    J.Vac.Sci.Technol. B11, 2773, 1993

    被引用文献6件

  • <no title>

    BAN H.

    J.Vac.Sci.Technol. B9, 3387, 1991

    DOI 被引用文献10件

  • <no title>

    SHIRAISHI H.

    J.Vac.Sci.& Technol. B9, 3343, 1991

    DOI 被引用文献6件

  • <no title>

    TAYLOR G. N.

    J. Vac. Sci. Technol. B9, 3348, 1991

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10003284729
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00085011
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03862186
  • NDL 記事登録ID
    4087456
  • NDL 雑誌分類
    ZP16(科学技術--化学・化学工業--高分子化学・高分子化学工業)
  • NDL 請求記号
    Z17-92
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ