Surface Reaction of a Low Flux Atomic Oxygen Beam with a Spin-Coated Polyimide Film : Translational Energy Dependence on the Reaction Efficiency

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  • CRID
    1572543023981898240
  • NII論文ID
    10003489666
  • NII書誌ID
    AN00314345
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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