アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究(第1報)

• 安井平司

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 60 128-, 1994

詳細情報

• CRID: 1573668923910580096
• NII論文ID: 10003568330
• データソース種別:
  • CiNii Articles