3次元微細形状創成技術 研削によるマイクロ形状創成

書誌事項

タイトル別名
  • The Production Processes for Three-Dimensional Micro-Shapes. Micro-grinding of Micro-machine Component.
  • ケンサク ニヨル マイクロ ケイジョウ ソウセイ

この論文をさがす

収録刊行物

  • 精密工学会誌

    精密工学会誌 61 (10), 1365-1368, 1995

    公益社団法人 精密工学会

被引用文献 (5)*注記

もっと見る

参考文献 (3)*注記

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

問題の指摘

ページトップへ