特集　真空技術　大容量ターボ分子ポンプ技術

• 白石 成之

  三菱重工業 (株) 広島製作所

書誌事項

タイトル別名

• Special Issue on Vacuum Technology. Technology of Large-capacity Turbo-molecular Pump.
• ダイヨウリョウ ターボ ブンシ ポンプ ギジュツ

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 57 (9), 1550-1554, 1991

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• turbo-molecular pump
• active magnetic bearing
• flexible installation
• eddy current loss
• rotation performance
• large pumping-out performance
• long length blade
• miniaturization

詳細情報

• CRID: 1390001204764163840
• NII論文ID: 110001370780
• NII論文ID: 10003576881
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.57.1550
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 3729554
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I3729554
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles