Effect of Oxygen Gas Addition on Preparation of Iridium and Platinum Films by Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

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  • Materials transactions, JIM

    Materials transactions, JIM 40(3), 209-213, 1999-03

    日本金属学会

参考文献:  27件中 1-27件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10003805795
  • NII書誌ID(NCID)
    AA10699969
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09161821
  • NDL 記事登録ID
    4689674
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z53-J286
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  IR 
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