4. CVD の化学工学 分子軌道法による CVD 素反応メカニズムの解析

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収録刊行物

  • 化学工学

    化学工学 60(12), 891-892, 1996-12-05

    化学工学会

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

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    SCHAEFER H. F. III

    Modern Theoretical Chemisitry 3, 4, 1977

    被引用文献1件

  • <no title>

    SCUSERIA G. E.

    Chem. Phys. Letters 243, 193, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    富士総合研究所編

    半導体素子設計シミュレータ, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    JENSEN K. F.

    Electrochemical Society Proceedings, 96-5 67, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOCHIZUKI Y.

    Jpn J. Appl. Phys. 34, L326, 1995

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10003808403
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00037212
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    03759253
  • NDL 記事登録ID
    4087376
  • NDL 雑誌分類
    ZP5(科学技術--化学・化学工業--化学工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-53
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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