超音波ボールボンディング用セラミックキャピラリーの高周波数での振動について -複合振動を用いた超音波ワイヤーボンディング(30)-

• 辻野

収録刊行物

• 日本音響学会平成10年度秋季研究発表会講演論文集

  日本音響学会平成10年度秋季研究発表会講演論文集 1053-1054, 1998

詳細情報

• CRID: 1573668924006727168
• NII論文ID: 10004095282
• データソース種別:
  • CiNii Articles