Low-Temperature APCVD Oxide Using TEOS-Ozone Chemistry For Multilevel Interconnections

• KOTANI H.

収録刊行物

• IEDM

  IEDM 89-669, 1989

  IEEE

詳細情報

• CRID: 1571980074136513280
• NII論文ID: 10004114161
• NII書誌ID: BA04566798
• データソース種別:
  • CiNii Articles