電圧素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構(第2報)-摩擦力の大きさと移動特性-

• 樋口

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 58 1759-, 1992

詳細情報

• CRID: 1571417124189404800
• NII論文ID: 10004151037
• データソース種別:
  • CiNii Articles