固定砥粒によるSiウェハの超精密加工に関する研究-遊離砥粒法に代わる新開発砥石-

• 富田洋司

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 61 1428-, 1995

詳細情報

• CRID: 1571698599165823232
• NII論文ID: 10004153801
• データソース種別:
  • CiNii Articles