弱電離気体プラズマの解析(XIX)CF_4ガスの電離係数の測定

• 三木維康

収録刊行物

• 平6電気関係学会道支連

  平6電気関係学会道支連 (48),

詳細情報

• CRID: 1573387449044717824
• NII論文ID: 10004165503
• データソース種別:
  • CiNii Articles