超音波リニアアクチュエータ駆動XYステージの基本特性
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収録刊行物
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- 1990年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集
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1990年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 21-22, 1990
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1572824499096622976
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- NII論文ID
- 10004211255
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- NII書誌ID
- AN1018673X
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- データソース種別
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- CiNii Articles