硬脆材料の高温切削に関する研究(第1報)-装置の試作と単結晶シリコンの切削-

• 小林英治

収録刊行物

• 1996年度精密工学会春季学術講演会講演論文集

  1996年度精密工学会春季学術講演会講演論文集 119 1996

詳細情報

• CRID: 1570854174259705088
• NII論文ID: 10004218625
• NII書誌ID: AN1018673X
• データソース種別:
  • CiNii Articles