精密切削加工による微細構造形成の試み -微細スパイラル電極の形成-

• 山形

Journal

• 電気学会論文誌E

  電気学会論文誌E 117 (1), 33-38, 1997

Details

• CRID: 1573105974073634432
• NII Article ID: 10004218995
• NII Book ID: AN1052634X
• Data Source:
  • CiNii Articles