最近のクリーン・非接触搬送技術　静電気力によるシリコンウエハとガラスの非接触搬送

• 樋口 俊郎

  正会員 東京人学工学系研究科

書誌事項

タイトル別名

• Clean and Non-contact Transportation Technology. Electrostatic Suspension and Propulsion of Silicon Wafer and Glass Plate.
• セイデン キリョク ニヨル シリコン ウエハ ト ガラス ノ ヒ セッショク

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 63 (7), 943-946, 1997

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• electrostatic suspension
• wafer
• glass plate
• transportation

詳細情報

• CRID: 1390282679740697600
• NII論文ID: 110001367859
• NII論文ID: 10004219813
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.63.943
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• NDL書誌ID: 4247772
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4247772
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles