鋳鉄ダイヤモンド砥石によるシリコンの研削加工(第5報 : インフィード鏡面研削の試み)
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収録刊行物
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- 昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集
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昭和63年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集 715-716, 1988
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570572699261091072
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- NII論文ID
- 10004221345
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- NII書誌ID
- AN1018673X
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- データソース種別
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- CiNii Articles