TEOS/O_2プラズマCVDによるプラスチック材料への硬質SiO_2薄膜の低温形成 -第1報- Low Temperature Deposition of SiO_2 Thin Films on Plastics as a Hard Coating Using TEOS/O_2-plasma (I)

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収録刊行物

  • 自動車技術会論文集

    自動車技術会論文集 27(4), 127-132, 1996-10-15

    自動車技術会

参考文献:  23件中 1-23件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004273303
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00105913
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    02878321
  • NDL 記事登録ID
    4067683
  • NDL 雑誌分類
    ZN22(科学技術--運輸工学--自動車)
  • NDL 請求記号
    Z16-1092
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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