TEOS/O_2プラズマCVDによるプラスチック材料への硬質SiO_2薄膜の低温形成 -第二報- Low Temperature Deposition of SiO_2 Thin Films on Plastics as a Hard Coating using TEOS/O_2-plasma (II)

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収録刊行物

  • 自動車技術会論文集

    自動車技術会論文集 28(1), 127-132, 1997-01-15

    自動車技術会

参考文献:  16件中 1-16件 を表示

  • <no title>

    佐野慶一郎

    自動車技術会秋季学術講演会前刷集 No.956, 41, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    SANO K.

    Trans. Sci. Auto. Eng. Jpn. Vol.25, 153, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    大平善造

    自動車技術 Vol.48, 49, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    河西純一

    自動車技術 Vol.48, 24, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    SANO K.

    Suzuki Tech. Rev. Vol.21, 55, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    SANO K.

    Suzuki Tech. Rev. Vol.22, 45, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    佐野慶一郎

    信学技報 Vol.173, 7, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    PAI C. S.

    J. Electrochem. Soc. Vol.139, 850, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    POPOV O. A.

    J. Vac. Sci. Technol. Vol. A12, 300, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    DZIOBA S.

    J. Vac. Sci. Technol. Vol. B12, 433, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    MACHIDA K.

    J.Vac. Sci. Technol. B11, 224, 1993

    被引用文献2件

  • <no title>

    MACHIDA K.

    IEEE Trans. on Electron Devices Vol.41, 709, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOCHITANI G.

    J. Vac. Sci. Technol. A 11, 400, 1993

    被引用文献5件

  • <no title>

    NGUYEN S.

    J. Electrochem. Soc. Vol.137, 2209, 1990

    被引用文献4件

  • <no title>

    CHANG C. P.

    J. Appl. Phys. 67(4), 2119, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    PAI C. S.

    J. Appl. Phys. Vol.68, 793, 1990

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004273523
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00105913
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    02878321
  • NDL 記事登録ID
    4128589
  • NDL 雑誌分類
    ZN22(科学技術--運輸工学--自動車)
  • NDL 請求記号
    Z16-1092
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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