TEOS/O2プラズマCVDによるプラスチック材料への硬質SiO2薄膜の低温形成--第2報

• 佐野 慶一郎

• 玉巻 宏章

• 野村 雅也

Bibliographic Information

Other Title

• TEOS O2 プラズマ CVD ニヨル プラスチック ザイリョウ エ ノ コ

Journal

• 自動車技術会論文集 = Transactions of the Society of Automotive Engineers of Japan / 自動車技術会 編

  自動車技術会論文集 = Transactions of the Society of Automotive Engineers of Japan / 自動車技術会 編 28 (1), 127-132, 1997-01

  東京 : 自動車技術会

Details

• CRID: 1520290885255988224
• NII Article ID: 10004273523
• NII Book ID: AN00105913
• ISSN: 02878321
• NDL BIB ID: 4128589
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4128589
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN22(科学技術--運輸工学--自動車)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles