Control Performance of an Air-Spring Type Vibration Isolated Apparatus Having Pressure Feedback

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著者

    • WAKUI Shinji
    • Canon Inc., Semiconductor Production Equipment Development Center
    • KATO Hiroaki
    • Canon Inc., Semiconductor Production Equipment Development Center

収録刊行物

  • International journal of the Japan Society for Precision Engineering

    International journal of the Japan Society for Precision Engineering 33(3), 251-252, 1999-09-30

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004294773
  • NII書誌ID(NCID)
    AA1080710X
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    0916782X
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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