超硬膜TiN膜の特性と応用 New and Promising Materials from Nitride Compounds. 3. Properties and applications of Super Hard TiN Films.

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  • 電気学会誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan

    電気学会誌 = The journal of the Institute of Electrical Engineers of Japan 119(12), 749-751, 1999-12-01

    The Institute of Electrical Engineers of Japan

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

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    J. E. Sundgren

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    M. Sato

    Jpn. J. Appl. Phys. 24, 656, 1985

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    J. J. Cuomo

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    下村順一

    金属表面技術 39, 630, 1988

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    M. Kiuchi

    Jpn. J. Appl. Phys. 26, L 938, 1987

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    藤井兼栄

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    H. Nagasaka

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    竹内崇雄

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    H. Nagasaka

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    MATTOX D. M.

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    DOI 被引用文献3件

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    NAGASAKA H

    Nucl. Instr. and Meth B 80/81, 1380, 1993

    DOI 被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004296460
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10432927
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    13405551
  • NDL 記事登録ID
    4923982
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-177
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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