A Study of Damage Induced in In_<0.52>Al_<0.48>As Surface by Reactive Ion Etching

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  • CRID
    1572543024130454912
  • NII論文ID
    10004349804
  • NII書誌ID
    AA10457675
  • ISSN
    00214922
  • 本文言語コード
    en
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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