ガス状不純物が除去可能なコロナ放電反応器のエキシマレーザとの組合せ特性 Characteristics of a Corona Reactor as a Gas Purifier for Excimer Laser

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  • 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society

    電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 118(7), 861-867, 1998-07-01

    電気学会

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    前田

    エキシマーレーザー

    被引用文献2件

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    岡崎守男

    ケミカルエンジニアリング 37, 138, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    田門肇

    ケミカルエンジニアリング 38, 708, 1993

    被引用文献1件

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    南谷靖史

    電学論A 117, 1046, 1997

    被引用文献1件

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    G. M. Jursich

    J. Reid: Appl. Optics 31(12), 1975, 1992

    被引用文献1件

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    電気学会

    電気工学ハンドブック

    被引用文献13件

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    S. R. Hunter

    J. Chem. Phys. 80(12), 15, 1984

    被引用文献1件

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    M. A. Accomazzo

    Solid State Technology 141, 1984

    被引用文献1件

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    Technical Brief No.118, 1991

    被引用文献1件

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    皆川忠郎

    93年秋応物学会予稿集 28p-B-16

    被引用文献2件

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    宮地章

    平4レーザ学会第12回年次大会 No.13aII7

    被引用文献1件

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    南谷靖史

    電学論A 116, 1067, 1996

    被引用文献1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004440231
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10136312
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    03854205
  • NDL 記事登録ID
    4496683
  • NDL 雑誌分類
    ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
  • NDL 請求記号
    Z16-793
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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