ダイヤモンド合成用低圧誘導結合プラズマのプローブ測定 Probe measurements of the low-pressure inductively coupled plasma for the deposition of diamond

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  • 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society

    電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A, A publication of Fundamentals and Materials Society 118(7), 895-896, 1998-07-01

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004440312
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10136312
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    03854205
  • データ提供元
    CJP書誌 
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