5,000時間以上使用した高繰り返しXeClエキシマレーザ用ハイブリッドセラミック軸受の分解・評価

• 佐藤 三郎

• 山部 長兵衛

• 北村 和久

Bibliographic Information

Other Title

• 5000ジカン イジョウ シヨウ シタ コウクリカエシ XeCl エキシマレー

Journal

• 電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials

  電気学会論文誌. A, 基礎・材料・共通部門誌 = IEEJ transactions on fundamentals and materials 118 (10), 1114-1119, 1998-10

  東京 : 電気学会

Details

• CRID: 1520009410304635648
• NII Article ID: 10004440797
• NII Article ID: 10004666090
• NII Book ID: AN10136312
• ISSN: 03854205
• NDL BIB ID: 4565877
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4565877
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles