高エネルギー•高密度イオン注入によって作製したTiNの特性評価

• 三木 真一

  姫路工業大学

• 八束 充保

  姫路工業大学

• 橋本 好幸

  神戸市立工業高等専門学校

• 山崎 徹

  姫路工業大学

• 内田 仁

  姫路工業大学

書誌事項

タイトル別名

• Surface Characteristics of TiN Prepared by High-energy, High-density Ion Implantation
• 高エネルギー・高密度イオン注入によって作製したTiNの特性評価
• コウエネルギー コウミツド イオン チュウニュウ ニ ヨッテ サクセイ シタ TiN ノ トクセイ ヒョウカ

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 119 (5), 587-592, 1999

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• プラズマイオン注入
• 耐食性
• 表面改質

詳細情報

• CRID: 1390282679575685120
• NII論文ID: 130006838788
• NII論文ID: 10011086590
• NII論文ID: 10004442696
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms1990.119.5_587
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/03854205
• NDL書誌ID: 4716136
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4716136
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms1990/119/5/119_5_587/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles