カーボンシャンティングアークの発生とDLC生成

• 門口 敏秀

  同志社大学

• 磯野 僚多

  同志社大学

• 吉岡 健司

  同志社大学

• 行村 建

  同志社大学

• 政宗 貞男

  京都工芸繊維大学

書誌事項

タイトル別名

• Carbon Shunting Arc Generation and DLC Deposition
• カーボンシャンティングアーク ノ ハッセイ ト DLC セイセイ

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 119 (5), 609-614, 1999

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• シャンティングアーク放電
• 非金属イオン源
• DＬC簿膜

詳細情報

• CRID: 1390001204598972288
• NII論文ID: 130006838784
• NII論文ID: 10004442745
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms1990.119.5_609
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• NDL書誌ID: 4716156
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4716156
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms1990/119/5/119_5_609/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles