次世代半導体用素材の高純度化

• 石川 幸雄

  東北大・素材研

• 三村 耕司

  東北大・素材研

• 一色 実

  東北大・素材研

Journal

• 資源・素材

  資源・素材 1996 (1), 32-, 1996-10-21

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• CRID: 1570572699275438080
• NII Article ID: 10004457228
• NII Book ID: AA11589536
• ISSN: 09197915
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles