モード変換型マイクロ波プラズマ発生装置による酸窒化シリコン膜のMOCVD

• 宮原 高志

  東理大・理工

• 佐藤 貴康

  東理大・理工

• 伊藤 滋

  東理大・理工

• 明石 和夫

  東理大・理工

収録刊行物

• 資源・素材

  資源・素材 1996 (1), 62-, 1996-10-21

詳細情報

• CRID: 1572261549135700608
• NII論文ID: 10004457263
• NII書誌ID: AA11589536
• ISSN: 09197915
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles