FIBを用いた三次元組成分析

• 二瓶 好正

  東京大学生産技術研究所

• 坂本 哲夫

  東京大学生産技術研究所

• 冨安 文武乃進

  東京大学生産技術研究所

• 尾張 真則

  東京大学環境安全研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Three-Dimensional Compositional Distribution Analysis Using Focused Ion Beams

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 16-, 1999-05-01

詳細情報

• CRID: 1573950399019235072
• NII論文ID: 10004538678
• NII書誌ID: AN00145000
• ISSN: 04170326
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles