FIBを用いた三次元組成分析 Three-Dimensional Compositional Distribution Analysis Using Focused Ion Beams

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡

    電子顕微鏡 34, 16, 1999-05-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    SATOH H.

    J. Vac. Sci. & Technol. B6, 915, 1988

    被引用文献7件

  • <no title>

    TOMIYASU B.

    Secondary ion mass spectrometry SIMS XI 1069, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAKAMOTO T.

    Jpn.J.Appl.Phys. 37(4A), 2051, 1998

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004538678
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    04170326
  • データ提供元
    CJP書誌 
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