妨害線を低減するFIB-TIM試料形状の検討 Study on the FIB fabricated specimen shape to reduce the matrix signals

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著者

    • 飯原 順次 IIHARA Junji
    • 住友電気工業(株)特性評価センター Analytical Characterization Center, Sumitomo Electric Industries, Ltd.
    • 山口 章 YAMAGUCHI Akira
    • 住友電気工業(株)特性評価センター Analytical Characterization Center, Sumitomo Electric Industries, Ltd.

収録刊行物

  • 電子顕微鏡  

    電子顕微鏡 34, 81, 1999-05-01 

参考文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004538816
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    04170326
  • データ提供元
    CJP書誌 
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