The Effects of He Ion to Xe Precipitate in Al Implanted by Dual Ion Implanter

• MITSUISHI K.

  Natl.Res.Inst.for Metals.

• SONG M.

  Natl.Res.Inst.for Metals.

• FURUYA K.

  Natl.Res.Inst.for Metals.

Bibliographic Information

Other Title

• デュアルイオン注入装置を用いたAl中のXe微結晶へのHeイオン注入の影響

Journal

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 100-, 1999-05-01

Details

• CRID: 1571980074182285952
• NII Article ID: 10004538860
• NII Book ID: AN00145000
• ISSN: 04170326
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles