SiO_xN_y/Si界面の位置分解EELS計測 composition and chemical shift analysis at SiO_xN_y/Si interface using spatially-resolved EELS

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡  

    電子顕微鏡 34, 107, 1999-05-01 

参考文献:  3件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004538872
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    04170326
  • データ提供元
    CJP書誌 
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