水素イオン注入欠陥層のプレートレット分布評価 Analysis of Platelet Distribution in the Damaged Layer of Hydrogen Implanted Silicon

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡

    電子顕微鏡 34, 111, 1999-05-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    BRUEL M.

    Nucl.Inst.and Meth. B108, 313, 1996

    被引用文献2件

  • <no title>

    IWATA H.

    ICEM-14, HH2.2, 1998

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004538882
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    04170326
  • データ提供元
    CJP書誌 
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