ガラス基板上のAl膜のストレスマイグレーションの制御

• 春田 和宏

  名古屋大学工学研究科

• 鈴木 幸伸

  名古屋大学工学研究科

• 高辻 博史

  日本IBM(株)

• 辻本 勝浩

  日本IBM(株)

• 辻 智

  日本IBM(株)

• 坂 公恭

  名古屋大学工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• Suppression of stress migration in an Al film deposited on to a glass

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 114-, 1999-05-01

詳細情報

• CRID: 1571135649252146176
• NII論文ID: 10004538894
• NII書誌ID: AN00145000
• ISSN: 04170326
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles