分析分解能向上の検討2 : EDS,EELSの実際

• 鹿野 文寿

  東芝

• 山本 剛久

  東大・工

• 幾原 雄一

  東大・工

• 森山 和彦

  トプコン電子ビームサービス

• 谷中 隆志

  トプコン電子ビームサービス

書誌事項

タイトル別名

• Investigation of Spatial Resolution in Analysis 2 : in the case of EDS and EELS

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 173-, 1999-05-01

詳細情報

• CRID: 1573105974088843008
• NII論文ID: 10004539049
• NII書誌ID: AN00145000
• ISSN: 04170326
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles