Pt/Si界面の微細構造に関する電顕観察 TEM observation of microstructures at Pt-Si interface

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著者

    • 坂田 孝夫 SAKATA T.
    • 阪大・超高圧電子顕微鏡センター Research Center for Ultra-High Voltage Electron Microscopy, Osaka University
    • 保田 英洋 YASUDA H.
    • 阪大・超高圧電子顕微鏡センター Research Center for Ultra-High Voltage Electron Microscopy, Osaka University
    • 浮田 康成 UKITA Y.
    • 阪大(院)・超高圧電子顕微鏡センター Research Center for Ultra-High Voltage Electron Microscopy, Osaka University
    • 森 博太郎 MORI H.
    • 阪大・超高圧電子顕微鏡センター Research Center for Ultra-High Voltage Electron Microscopy, Osaka University

収録刊行物

  • 電子顕微鏡

    電子顕微鏡 34, 185, 1999-05-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    平木昭夫

    日本金属学会会報 29, 224, 1990

    被引用文献3件

  • <no title>

    ABELSON J. R.

    J.Appl.Phys. 63, 689, 1988

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004539079
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    04170326
  • データ提供元
    CJP書誌 
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