超音波振動による発生したシリコン転位の電子顕微鏡観察

• 加藤 直子

  (株)アイテス半導体故障解析

• 松澤 寿一

  (株)アイテス半導体故障解析

• 西川 明

  (株)アイテス半導体故障解析

• 坂 公恭

  名古屋大学工学部量子工学

書誌事項

タイトル別名

• TEM Observation of Dislocations in Si Generated by Ultrasonic Cleaning

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 240-, 1999-05-01

詳細情報

• CRID: 1571698599205218048
• NII論文ID: 10004539191
• NII書誌ID: AN00145000
• ISSN: 04170326
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles