ナノビーム電子線を用いた極微構造解析イメージング(1) Structure analysis of ultimately small areas and their imaging by using nm-sized electron beam

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡

    電子顕微鏡 34(2), 135-140, 1999-07-31

    日本電子顕微鏡学会

参考文献:  16件中 1-16件 を表示

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    田中信夫

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    DOI 被引用文献3件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004539678
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    04170326
  • NDL 記事登録ID
    4825382
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-896
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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