Structure analysis of ultimately small areas and their imaging by using nm-sized electron beam.

• Tanaka Nobuo

  名古屋大学大学院工学研究科

• Hirotsu Yoshihiko

  大阪大学産業科学研究所

Bibliographic Information

Other Title

• ナノビーム電子線を用いた極微構造解析とイメージング　（１）
• ナノビーム デンシセン オ モチイタ キョクビ コウゾウ カイセキ ト イメージング 1

Journal

• Denshi kenbikyo

  Denshi kenbikyo 34 (2), 135-140, 1999

  The Japanese Society of Microscopy

Keywords

• ナノビーム電子線
• ナノ回折
• 走査透過電子顕微鏡(STEM)
• ナノビーム回折(NBD)
• 収束電子回折(CBED)

Details

• CRID: 1390282679710017920
• NII Article ID: 130003643521
• NII Article ID: 10004539678
• NII Book ID: AN00153086
• DOI: 10.11410/kenbikyo1950.34.135
• NDL BIB ID: 4825382
• ISSN: 04170326
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4825382
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles