解説 CZシリコン結晶中のGrown-in欠陥の電子顕微鏡法による解析

• 定光 信介

• 梅野 繁

• 柳瀬 好生

Bibliographic Information

Other Title

• カイセツ CZ シリコン ケッショウ チュウ ノ Grown-in ケッカン ノ デンシ ケンビキョウホウ ニ ヨル カイセキ

Journal

• 電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編

  電子顕微鏡 / 「電子顕微鏡」編集委員会 編 34 (3), 162-167, 1999-11

  東京 : 日本顕微鏡学会

Details

• CRID: 1520290885278349312
• NII Article ID: 10004539756
• NII Book ID: AN00153086
• ISSN: 04170326
• NDL BIB ID: 4932518
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4932518
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles