ＤＲＡＭ絶縁膜の元素分布解析

• 川崎 正博

  日本電子株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Investigation of elemental distribution in a dielectric of DRAM.
• DRAM ゼツエン マク ノ ゲンソ ブンセキ カイセキ

収録刊行物

• 電子顕微鏡

  電子顕微鏡 34 (3), 224-226, 1999

  公益社団法人　日本顕微鏡学会

キーワード

• DRAM
• 絶縁膜
• エネルギーフィルタ
• 電子エネルギー損失分光
• Zコントラスト

詳細情報

• CRID: 1390282679710781696
• NII論文ID: 10004539969
• NII書誌ID: AN00153086
• DOI: 10.11410/kenbikyo1950.34.224
• NDL書誌ID: 4932759
• ISSN: 04170326
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4932759
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles