DRAM絶縁膜の元素分布解析 Investigation of elemental distribution in a dielectric of DRAM

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収録刊行物

  • 電子顕微鏡

    電子顕微鏡 34(3), 224-226, 1999-11-30

    The Japanese Society of Microscopy

参考文献:  14件中 1-14件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004539969
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00145000
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    04170326
  • NDL 記事登録ID
    4932759
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-896
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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