Investigation of elemental distribution in a dielectric of DRAM.

• Kawasaki Masahiro

  日本電子株式会社

Bibliographic Information

Other Title

• ＤＲＡＭ絶縁膜の元素分布解析
• DRAM ゼツエン マク ノ ゲンソ ブンセキ カイセキ

Journal

• Denshi kenbikyo

  Denshi kenbikyo 34 (3), 224-226, 1999

  The Japanese Society of Microscopy

Keywords

• DRAM
• 絶縁膜
• エネルギーフィルタ
• 電子エネルギー損失分光
• Zコントラスト

Details

• CRID: 1390282679710781696
• NII Article ID: 10004539969
• NII Book ID: AN00153086
• DOI: 10.11410/kenbikyo1950.34.224
• NDL BIB ID: 4932759
• ISSN: 04170326
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4932759
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles