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収録刊行物

  • 真空

    真空 43(2), 91-97, 2000-02-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

  • <no title>

    江刺

    マイクロマシーニングとマイクロメカトロニクス, 1992

    被引用文献28件

  • <no title>

    TAKINAMI M.

    Technical Digest of the 11th Sensor Symposium 15, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    TODA R.

    Sensors & Actuators A66, 268, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    WANG S.

    J.American Ceramic Soc. 82, 213, 1999

    被引用文献2件

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    HENMI H.

    Sensors and Actuators A43, 243, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    ESASHI M.

    Proceedings of the IEEE 86, 1627, 1998

    被引用文献1件

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    HATANAKA K.

    Technical Digest of the 13th Sensor Symposium 37, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    WANG Y.

    Sensors and Actuators A66, 213, 1997

    被引用文献1件

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    LIM G.

    電気学会論文誌E 118-E, 420, 1998

    被引用文献1件

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    電気学会論文誌E 117-E, 109, 1997

    被引用文献1件

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    大里

    第16回「センサ マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 78, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    ABE T.

    Technical Digest of the Transducers '99 1246, 1999

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    FUKATSU K.

    Technical Digest of the Transducers '99 1558, 1999

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    PARK K. T.

    Technical Digest of MEMS '99 400, 1999

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  • <no title>

    第38回日本エム イー学会大会 302, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    KATSUMATA T.

    Technical Digest of Intn.Conf.on Optical MEMS and Their Applications 141, 1997

    被引用文献1件

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    PHAN N. M.

    Technical Digest of MEMS '99 360, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIBA Y.

    電気学会論文誌E 118-E, 647, 1998

    被引用文献2件

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    ONO T.

    J.Vac.Sci.Technol.B 15, 1531, 1997

    被引用文献1件

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    ONO T.

    Jpn.J.Appl.Phys. 37, 1644, 1998

    被引用文献3件

  • <no title>

    OHTOMO M.

    Technical Digest of the 16th Sensor Symposium 81, 1998

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561309
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5298155
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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