マイクロマシンにおける駆動技術(マイクロアクチュエータ) Driving Devices of Micromachines-Microactuator-

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収録刊行物

  • 真空

    真空 43(2), 98-105, 2000-02-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

  • <no title>

    FUJITA H.

    Proc.IEEE 86, 1721, 1998

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    KAWANA A.

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    CHUN K.

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    SAKATA M.

    IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS '99) 21, 1999

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    TILMANS H. A. C.

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    NANIWA I.

    IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS '99) 49, 1999

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    HIRANO T.

    IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems(MEMS '99) 441, 1999

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    KIM B. -H.

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    CHEN R. T.

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  • Piezoelectric microactuator for dual stage control

    EVANS R. B.

    Digest of the Asia-Pcific Magnetic Recording Conference 1998, 1998

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  • Piezoelectric piggy-back microactuator for hard disk drive

    SOENO Y.

    Digest of the Asia-Pcific Magnetic Recording Conference 1998, 1998

    被引用文献1件

  • Dual-stage actuator system for magnetic disk drives using a shear mode piezoelectric microactuator

    KOGANESAWA S.

    Digest of the Asia-Pcific Magnetic Recording Conference 1998, 1998

    被引用文献1件

  • Angular Micropositioner for Diskdrives

    HORSLEY D. A.

    Proc.of IEEE 10th Annual Int.Workshop on MEMS(MEMS '97), 454-459, 1997

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    NAKAMURA S.

    Proc.of IEEE 11th Annual Int.Workshop on MEMS(MEMS '98), 278-283, 1998

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    MITA Y.

    Tech.Digest of 10th Internat'l Conf.on Solid-state Sensors and Actuators 1196, 1999

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10004561331
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    5298159
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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